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全焊接簡易設(shè)計機體有最小限度死艙區(qū),閥體材質(zhì)符合SEMI F-20標準,“超高純度級別的半導體的生產(chǎn)應(yīng)用材質(zhì)規(guī)格,為316L不銹鋼”。 Elgiloy牌彈簧材質(zhì)有強耐久性以及耐腐蝕性,以便延長其循環(huán)壽命,操作無噪音,多種端口連接選擇。
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